合金薄膜用什麼濺射

❶ 請問用磁控濺射怎麼做非晶合金膜，濺射時應注意哪些因素才不會晶化

1、靶材濃度均勻。如果不均勻，可看作混入雜志而易於形核。

2、從基材上抑制結晶。基材選取非晶體，或者基材的晶格尺寸與靶材的晶格尺寸相差較大的。

3、注意控制膜厚。膜厚在一定范圍內，因形核能過大難於結晶。

4、溫度。

5、時間。濺射時間過長，因環境（溫度、電子束....)等因素導致時效形核結晶。

❷ 磁控濺射膜是什麼意思金屬膜都是採用磁控濺射技術嗎

一、磁控濺射膜

1、磁控濺射隔熱膜又稱磁控濺射金屬膜，採用多層磁控濺射工藝打造而成，以持久反射隔熱的出色性能而著稱。由於其高清晰、高隔熱、高穩定、低內反光、色澤純正、永不退色、使用壽命長等眾多特點，一度被廣泛用於汽車玻璃貼膜、建築玻璃貼膜。

2、磁控濺射技術在薄膜製造領域中的應用十分廣泛，可以製造工業上所需要的各種薄膜。如：超硬薄膜、耐腐蝕耐摩擦薄膜、超導薄膜、磁性薄膜、光學薄膜、隔熱膜以及各種具有特殊電學性能的薄膜等。

3、簡單的說，磁控濺射隔熱的生產工藝就是在真空的環境里採用電離子有序轟擊鎳、銀、鈦、金、銦、銅、鋁等貴金屬耙材，並採用磁場控制的方式讓金屬離子均勻的濺射到光學級的PET基材上，沉積成金屬鍍膜層。

4、隔熱原理：磁控濺射隔熱膜屬於反射型隔熱膜。它是將鎳、銀等金屬的分子通過濺射的方法塗布在安全基層上，這些金屬層會選擇性的將陽光中的各種熱能源，包括紅外線、紫外線及可見光熱能反射回去。從而有效祈禱隔熱及保護人體及汽車內飾免受紫外線傷害的作用。

二、金屬膜是採用磁控濺射技術的。

三、一般來說，利用濺鍍製程進行薄膜披覆有幾項特點：

(1)金屬、合金或絕緣物均可做成薄膜材料。

(2)再適當的設定條件下可將多元復雜的靶材製作出同一組成的薄膜。

(3)利用放電氣氛中加入氧或其它的活性氣體，可以製作靶材物質與氣體分子的混合物或化合物。

(4)靶材輸入電流及濺射時間可以控制，容易得到高精度的膜厚。

(5)較其它製程利於生產大面積的均一薄膜。

(6)濺射粒子幾不受重力影響，靶材與基板位置可自由安排。

(7)基板與膜的附著強度是一般蒸鍍膜的10倍以上，且由於濺射粒子帶有高能量，在成膜面會繼續表面擴散而得到硬且緻密的薄膜，同時此高能量使基板只要較低的溫度即可得到結晶膜。

(8)薄膜形成初期成核密度高，可生產10nm以下的極薄連續膜。

(9)靶材的壽命長，可長時間自動化連續生產。

(10)靶材可製作成各種形狀，配合機台的特殊設計做更好的控制及最有效率的生產。