合金薄膜用什么溅射

❶ 请问用磁控溅射怎么做非晶合金膜，溅射时应注意哪些因素才不会晶化

1、靶材浓度均匀。如果不均匀，可看作混入杂志而易于形核。

2、从基材上抑制结晶。基材选取非晶体，或者基材的晶格尺寸与靶材的晶格尺寸相差较大的。

3、注意控制膜厚。膜厚在一定范围内，因形核能过大难于结晶。

4、温度。

5、时间。溅射时间过长，因环境（温度、电子束....)等因素导致时效形核结晶。

❷ 磁控溅射膜是什么意思金属膜都是采用磁控溅射技术吗

一、磁控溅射膜

1、磁控溅射隔热膜又称磁控溅射金属膜，采用多层磁控溅射工艺打造而成，以持久反射隔热的出色性能而著称。由于其高清晰、高隔热、高稳定、低内反光、色泽纯正、永不退色、使用寿命长等众多特点，一度被广泛用于汽车玻璃贴膜、建筑玻璃贴膜。

2、磁控溅射技术在薄膜制造领域中的应用十分广泛，可以制造工业上所需要的各种薄膜。如：超硬薄膜、耐腐蚀耐摩擦薄膜、超导薄膜、磁性薄膜、光学薄膜、隔热膜以及各种具有特殊电学性能的薄膜等。

3、简单的说，磁控溅射隔热的生产工艺就是在真空的环境里采用电离子有序轰击镍、银、钛、金、铟、铜、铝等贵金属耙材，并采用磁场控制的方式让金属离子均匀的溅射到光学级的PET基材上，沉积成金属镀膜层。

4、隔热原理：磁控溅射隔热膜属于反射型隔热膜。它是将镍、银等金属的分子通过溅射的方法涂布在安全基层上，这些金属层会选择性的将阳光中的各种热能源，包括红外线、紫外线及可见光热能反射回去。从而有效祈祷隔热及保护人体及汽车内饰免受紫外线伤害的作用。

二、金属膜是采用磁控溅射技术的。

三、一般来说，利用溅镀制程进行薄膜披覆有几项特点：

(1)金属、合金或绝缘物均可做成薄膜材料。

(2)再适当的设定条件下可将多元复杂的靶材制作出同一组成的薄膜。

(3)利用放电气氛中加入氧或其它的活性气体，可以制作靶材物质与气体分子的混合物或化合物。

(4)靶材输入电流及溅射时间可以控制，容易得到高精度的膜厚。

(5)较其它制程利于生产大面积的均一薄膜。

(6)溅射粒子几不受重力影响，靶材与基板位置可自由安排。

(7)基板与膜的附着强度是一般蒸镀膜的10倍以上，且由于溅射粒子带有高能量，在成膜面会继续表面扩散而得到硬且致密的薄膜，同时此高能量使基板只要较低的温度即可得到结晶膜。

(8)薄膜形成初期成核密度高，可生产10nm以下的极薄连续膜。

(9)靶材的寿命长，可长时间自动化连续生产。

(10)靶材可制作成各种形状，配合机台的特殊设计做更好的控制及最有效率的生产。